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项目 |
参数 |
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设备型号 |
AMHS/OHT |
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外型尺寸 |
L600*W450*H850mm（不含机械手臂） |
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物料种类 |
Foup/Cassette/Mask等半导体物料 |
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充电方式 |
轨道滑触线以及锂电池定点充电 |
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机械手精度 |
0.5~1mm |
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驱动方式 |
双向驱动，，无限监控 |
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行走速度 |
0.6~3.5m/s |
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通讯方式 |
SECS/GEM （E84） |
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视觉系统 |
RFI获取轨道位置 |
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系统控制 |
控制硬件系统 |
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感测系统 |
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远端控制及车流控制统 |
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自动化的AMHS系统可以减少人为错误的发生率，，，提高了生产线的稳定性和一致性。。。
AMHS设备可以根据生产需求进行灵活调整和优化，，适应不同工艺流程和生产规模的变化。。。
减少了人员接触危险物料的机会，，降低了工作风险，，，提升了生产线的安全性。。
AMHS设备配备智能控制系统，，，，可以实时监控物料流动情况，，提供数据支持，，帮助管理者进行生产计划和决策。。
AMHS设备可以实现物料的垂直传送和空间的充分利用，，节约了生产场地，，，，提高了生产线的整体效率。。。
